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李国成把光刻胶涂抹在氧化后的晶圆上,用一个局部真空的吸盘固定住晶圆中心,提起来放入手心轻轻转动,利用离心力把光刻胶均匀地布满整个平面。
完成这一步操作后,李国成暗暗决定,实验完成一定要制造一个甩...
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